Silan (SiH4)

Parametry techniczne

Silan jest związkiem krzemu i wodoru. Jest to ogólny termin określający szereg związków, w tym monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) i niektóre związki krzemowo-wodorowe wyższego rzędu. Spośród nich monosilan jest najpopularniejszy, czasami nazywany w skrócie silanem. Silan jest bezbarwnym gazem o odrażającym zapachu czosnku. Rozpuszczalny w wodzie, prawie nierozpuszczalny w etanolu, eterze, benzenie, chloroformie, chloroformie krzemu i czterochlorku krzemu. Właściwości chemiczne silanów są znacznie bardziej aktywne niż alkanów i łatwo ulegają utlenianiu. W kontakcie z powietrzem może wystąpić samozapłon. Nie reaguje z azotem poniżej 25°C i nie reaguje ze związkami węglowodorowymi w temperaturze pokojowej. Pożar i wybuch silanu są wynikiem reakcji z tlenem. Silan jest wyjątkowo wrażliwy na tlen i powietrze. Silan o pewnym stężeniu będzie również reagował wybuchowo z tlenem w temperaturze -180°C. Silan stał się najważniejszym gazem specjalnym stosowanym w procesach mikroelektroniki półprzewodnikowej i jest używany do przygotowywania różnych warstw mikroelektronicznych, w tym warstw monokrystalicznych, mikrokrystalicznych, polikrystalicznych, tlenku krzemu, azotku krzemu i krzemków metali. Zastosowania mikroelektroniczne silanu wciąż się rozwijają: epitaksja niskotemperaturowa, epitaksja selektywna i epitaksja heteroepitaksjalna. Nie tylko w urządzeniach krzemowych i krzemowych układach scalonych, ale także w złożonych urządzeniach półprzewodnikowych (arsenek galu, węglik krzemu itp.). Ma on również zastosowanie w przygotowywaniu materiałów nadsieciowych ze studniami kwantowymi. Można powiedzieć, że silan jest stosowany w niemal wszystkich zaawansowanych liniach produkcyjnych układów scalonych w czasach współczesnych. Zastosowanie silanu jako warstwy i powłoki zawierającej krzem rozszerzyło się z tradycyjnego przemysłu mikroelektronicznego na różne dziedziny, takie jak hutnictwo, przemysł maszynowy, chemiczny i optyczny. Innym potencjalnym zastosowaniem silanu jest produkcja wysokowydajnych ceramicznych części silników. Szczególnie wykorzystanie silanu do produkcji mikroproszków krzemku (Si3N4, SiC itp.) cieszy się coraz większym zainteresowaniem.

Aplikacja:

①Elektroniczny:

Silan jest nakładany na warstwy krzemu polikrystalicznego na wafle krzemowe podczas produkcji półprzewodników i uszczelniaczy.

②Energia słoneczna:

Silan jest stosowany w produkcji modułów fotowoltaicznych.

③Przemysł:

Stosowany jest w energooszczędnym szkle zielonym oraz w procesie osadzania cienkich warstw z fazy gazowej.

Pakiet normalny:

Korzyść:

①Ponad dziesięć lat na rynku;

②Producent certyfikatu ISO;

③Szybka dostawa;

④Stabilne źródło surowca;

⑤System analizy on-line do kontroli jakości na każdym etapie;

⑥Wysokie wymagania i skrupulatny proces obchodzenia się z butlą przed napełnieniem;

⑦Czystość: wysoka czystość elektroniczna;

⑧Zastosowanie: materiały na ogniwa słoneczne; produkcja polisilikonu o wysokiej czystości, tlenku krzemu i włókien optycznych; produkcja szkła kolorowego.