Silan (SiH4)

Parametry techniczne

Silan jest związkiem krzemu i wodoru. Jest to ogólne określenie szeregu związków, w tym monosilanu (SiH4), disilanu (Si2H6) i niektórych związków krzemowo-wodorowych wyższego poziomu. Wśród nich najpopularniejszy jest monosilan, czasami nazywany w skrócie silanem. Silan to bezbarwny gaz o obrzydliwym zapachu czosnku. Rozpuszczalny w wodzie, prawie nierozpuszczalny w etanolu, eterze, benzenie, chloroformie, chloroformie krzemu i tetrachlorku krzemu. Właściwości chemiczne silanów są znacznie bardziej aktywne niż alkany i łatwo ulegają utlenieniu. W kontakcie z powietrzem może nastąpić samozapłon. Nie reaguje z azotem poniżej 25°C i nie reaguje ze związkami węglowodorowymi w temperaturze pokojowej. Pożar i eksplozja silanu są wynikiem reakcji z tlenem. Silan jest niezwykle wrażliwy na tlen i powietrze. Silan w określonym stężeniu będzie również reagował wybuchowo z tlenem w temperaturze -180°C. Silan stał się najważniejszym gazem specjalnym stosowanym w procesach mikroelektroniki półprzewodnikowej i jest stosowany do wytwarzania różnych folii mikroelektronicznych, w tym folii monokrystalicznych, mikrokrystalicznych, polikrystalicznych, tlenku krzemu, azotku krzemu i krzemków metali. Mikroelektroniczne zastosowania silanu wciąż są dogłębnie rozwijane: epitaksja niskotemperaturowa, epitaksja selektywna i epitaksja heteroepitaksyjna. Nie tylko do urządzeń krzemowych i krzemowych układów scalonych, ale także do złożonych urządzeń półprzewodnikowych (arsenek galu, węglik krzemu itp.). Ma również zastosowanie w przygotowywaniu materiałów na supersieciowe studnie kwantowe. Można powiedzieć, że silan jest obecnie stosowany w niemal wszystkich liniach produkcyjnych zaawansowanych układów scalonych. Zastosowanie silanu jako folii i powłoki zawierającej krzem rozszerzyło się z tradycyjnego przemysłu mikroelektroniki na różne dziedziny, takie jak stal, maszyny, chemikalia i optyka. Innym potencjalnym zastosowaniem silanu jest produkcja wysokowydajnych ceramicznych części silników, zwłaszcza zastosowanie silanu do produkcji krzemku (Si3N4, SiC itp.) Technologia mikroproszków cieszy się coraz większym zainteresowaniem.

Aplikacja:

①Elektroniczny:

Silan nanosi się na warstwy krzemu polikrystalicznego na płytkach krzemowych podczas produkcji półprzewodników i uszczelniaczy.

②Solar:

Silan jest stosowany w produkcji modułów fotowoltaicznych.

③Przemysłowe:

Jest stosowany w energooszczędnym zielonym szkle i stosowany w procesie osadzania z fazy gazowej cienkowarstwowej.

Pakiet normalny:

Korzyść:

① Ponad dziesięć lat na rynku;

②Wytwórca certyfikatu ISO;

③Szybka dostawa;

④Stabilne źródło surowców;

⑤ System analizy on-line do kontroli jakości na każdym etapie;

⑥Wysokie wymagania i skrupulatny proces obsługi butli przed napełnieniem;

⑦Czystość: klasa elektroniczna o wysokiej czystości;

⑧Zastosowanie: materiały na ogniwa słoneczne; wytwarzanie wysokiej czystości polikrzemu, tlenku krzemu i światłowodu; produkcja szkła kolorowego.