Specyfikacja | 99,999% |
tlen + argon | ≤1ppm |
Azot | ≤4 ppm |
Wilgotność (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
halokarbony | ≤1 ppm |
Całkowite zanieczyszczenia | ≤10 ppm |
Czterofluorek węgla to fluorowcowany węglowodór o wzorze chemicznym CF4.Można go uznać za chlorowcowany węglowodór, chlorowcowany metan, perfluorowęglowodór lub za związek nieorganiczny.Czterofluorek węgla to bezbarwny i bezwonny gaz, nierozpuszczalny w wodzie, rozpuszczalny w benzenie i chloroformie.Stabilny w normalnej temperaturze i ciśnieniu, unikać silnych utleniaczy, materiałów łatwopalnych lub łatwopalnych.Gaz niepalny, ciśnienie wewnętrzne pojemnika wzrośnie pod wpływem wysokiej temperatury i istnieje niebezpieczeństwo pęknięcia i wybuchu.Jest stabilny chemicznie i niepalny.Tylko ciekły odczynnik metaliczny amoniak-sód może działać w temperaturze pokojowej.Czterofluorek węgla jest gazem powodującym efekt cieplarniany.Jest bardzo stabilny, może pozostawać w atmosferze przez długi czas i jest bardzo silnym gazem cieplarnianym.Czterofluorek węgla jest używany w procesie trawienia plazmowego różnych układów scalonych.Jest również używany jako gaz laserowy i jest stosowany w niskotemperaturowych czynnikach chłodniczych, rozpuszczalnikach, smarach, materiałach izolacyjnych i chłodziwach do detektorów podczerwieni.Jest najczęściej używanym gazem do trawienia plazmowego w przemyśle mikroelektronicznym.Jest to mieszanina gazu o wysokiej czystości tetrafluorometanu i gazu o wysokiej czystości tetrafluorometanu i tlenu o wysokiej czystości.Może być szeroko stosowany w krzemie, dwutlenku krzemu, azotku krzemu i szkle fosfokrzemianowym.Wytrawianie materiałów cienkowarstwowych, takich jak wolfram i wolfram, jest również szeroko stosowane w czyszczeniu powierzchni urządzeń elektronicznych, produkcji ogniw słonecznych, technologii laserowej, chłodnictwie niskotemperaturowym, kontroli szczelności i detergentów w produkcji obwodów drukowanych.Stosowany jako niskotemperaturowy czynnik chłodniczy i technologia suchego trawienia plazmowego układów scalonych.Środki ostrożności przy przechowywaniu: Przechowywać w chłodnym, wentylowanym magazynie z niepalnym gazem.Przechowywać z dala od ognia i źródeł ciepła.Temperatura przechowywania nie powinna przekraczać 30°C.Powinien być przechowywany oddzielnie od łatwopalnych (palnych) materiałów palnych i utleniaczy oraz unikać składowania mieszanego.Miejsce przechowywania powinno być wyposażone w sprzęt do awaryjnego usuwania wycieków.
① Czynnik chłodniczy:
Tetrafluorometan jest czasami używany jako czynnik chłodniczy w niskich temperaturach.
② Trawienie:
Jest stosowany w mikroprodukcji elektroniki samodzielnie lub w połączeniu z tlenem jako wytrawiacz plazmowy krzemu, dwutlenku krzemu i azotku krzemu.
Produkt | Czterofluorek węglaCF4 | ||
wielkość paczki | Cylinder 40 litrów | Butla 50Ltr | |
Masa netto napełniania/cyl | 30 kg | 38Kg | |
ILOŚĆ załadowana do kontenera 20' | 250 cylindrów | 250 cylindrów | |
Całkowita waga netto | 7,5 tony | 9,5 tony | |
Masa własna butli | 50 kg | 55kg | |
Zawór | CGA 580 |
①Wysoka czystość, najnowszy obiekt;
② Producent certyfikatu ISO;
③ Szybka dostawa;
④ System analizy on-line do kontroli jakości na każdym etapie;
⑤ Wysokie wymagania i skrupulatny proces obsługi butli przed napełnieniem;