Czterofluorek węgla (CF4)

Krótki opis:

Czterofluorek węgla, znany również jako tetrafluorometan, jest bezbarwnym gazem w normalnej temperaturze i ciśnieniu, nierozpuszczalnym w wodzie.Gaz CF4 jest obecnie najczęściej stosowanym gazem do trawienia plazmowego w przemyśle mikroelektronicznym.Jest również stosowany jako gaz laserowy, kriogeniczny czynnik chłodniczy, rozpuszczalnik, smar, materiał izolacyjny i chłodziwo do rur detektorów podczerwieni.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Parametry techniczne

Specyfikacja 99,999%
tlen + argon ≤1ppm
Azot ≤4 ppm
Wilgotność (H2O) ≤3 ppm
HF ≤0,1 ppm
CO ≤0,1 ppm
CO2 ≤1 ppm
SF6 ≤1 ppm
halokarbony ≤1 ppm
Całkowite zanieczyszczenia ≤10 ppm

Czterofluorek węgla to fluorowcowany węglowodór o wzorze chemicznym CF4.Można go uznać za chlorowcowany węglowodór, chlorowcowany metan, perfluorowęglowodór lub za związek nieorganiczny.Czterofluorek węgla to bezbarwny i bezwonny gaz, nierozpuszczalny w wodzie, rozpuszczalny w benzenie i chloroformie.Stabilny w normalnej temperaturze i ciśnieniu, unikać silnych utleniaczy, materiałów łatwopalnych lub łatwopalnych.Gaz niepalny, ciśnienie wewnętrzne pojemnika wzrośnie pod wpływem wysokiej temperatury i istnieje niebezpieczeństwo pęknięcia i wybuchu.Jest stabilny chemicznie i niepalny.Tylko ciekły odczynnik metaliczny amoniak-sód może działać w temperaturze pokojowej.Czterofluorek węgla jest gazem powodującym efekt cieplarniany.Jest bardzo stabilny, może pozostawać w atmosferze przez długi czas i jest bardzo silnym gazem cieplarnianym.Czterofluorek węgla jest używany w procesie trawienia plazmowego różnych układów scalonych.Jest również używany jako gaz laserowy i jest stosowany w niskotemperaturowych czynnikach chłodniczych, rozpuszczalnikach, smarach, materiałach izolacyjnych i chłodziwach do detektorów podczerwieni.Jest najczęściej używanym gazem do trawienia plazmowego w przemyśle mikroelektronicznym.Jest to mieszanina gazu o wysokiej czystości tetrafluorometanu i gazu o wysokiej czystości tetrafluorometanu i tlenu o wysokiej czystości.Może być szeroko stosowany w krzemie, dwutlenku krzemu, azotku krzemu i szkle fosfokrzemianowym.Wytrawianie materiałów cienkowarstwowych, takich jak wolfram i wolfram, jest również szeroko stosowane w czyszczeniu powierzchni urządzeń elektronicznych, produkcji ogniw słonecznych, technologii laserowej, chłodnictwie niskotemperaturowym, kontroli szczelności i detergentów w produkcji obwodów drukowanych.Stosowany jako niskotemperaturowy czynnik chłodniczy i technologia suchego trawienia plazmowego układów scalonych.Środki ostrożności przy przechowywaniu: Przechowywać w chłodnym, wentylowanym magazynie z niepalnym gazem.Przechowywać z dala od ognia i źródeł ciepła.Temperatura przechowywania nie powinna przekraczać 30°C.Powinien być przechowywany oddzielnie od łatwopalnych (palnych) materiałów palnych i utleniaczy oraz unikać składowania mieszanego.Miejsce przechowywania powinno być wyposażone w sprzęt do awaryjnego usuwania wycieków.

Aplikacja:

① Czynnik chłodniczy:

Tetrafluorometan jest czasami używany jako czynnik chłodniczy w niskich temperaturach.

  fdrgr greg

② Trawienie:

Jest stosowany w mikroprodukcji elektroniki samodzielnie lub w połączeniu z tlenem jako wytrawiacz plazmowy krzemu, dwutlenku krzemu i azotku krzemu.

dsgre rgg

Normalny pakiet:

Produkt Czterofluorek węglaCF4
wielkość paczki Cylinder 40 litrów Butla 50Ltr  
Masa netto napełniania/cyl 30 kg 38Kg  
ILOŚĆ załadowana do kontenera 20' 250 cylindrów 250 cylindrów
Całkowita waga netto 7,5 tony 9,5 tony
Masa własna butli 50 kg 55kg
Zawór CGA 580

Korzyść:

①Wysoka czystość, najnowszy obiekt;

② Producent certyfikatu ISO;

③ Szybka dostawa;

④ System analizy on-line do kontroli jakości na każdym etapie;

⑤ Wysokie wymagania i skrupulatny proces obsługi butli przed napełnieniem;


  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Wpisz tutaj swoją wiadomość i wyślij ją do nas