Część | 99,9999% | Jednostka |
Tlen (Ar) | ≤0,1 | ppm V |
Azot | ≤0,1 | ppm V |
Wodór | ≤20 | ppm V |
Hel | ≤10 | ppm V |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppm V |
THC | ≤0,1 | ppm V |
Chlorosilany | ≤0,1 | ppm V |
disiloksan | ≤0,1 | ppm V |
disilan | ≤0,1 | ppm V |
Wilgotność (H2O) | ≤0,1 | ppm V |
Silan jest związkiem krzemu i wodoru.Jest to ogólny termin określający szereg związków, w tym monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) i niektóre związki krzemowo-wodorowe wyższego poziomu.Wśród nich najpowszechniejszy jest monosilan, czasami nazywany w skrócie silanem.Silan to bezbarwny gaz o obrzydliwym zapachu czosnku.Rozpuszczalny w wodzie, prawie nierozpuszczalny w etanolu, eterze, benzenie, chloroformie, chloroformie krzemu i tetrachlorku krzemu.Właściwości chemiczne silanów są znacznie bardziej aktywne niż alkany i łatwo ulegają utlenieniu.W kontakcie z powietrzem może nastąpić samozapłon.Nie reaguje z azotem poniżej 25°C oraz nie reaguje ze związkami węglowodorów w temperaturze pokojowej.Pożar i wybuch silanu są wynikiem reakcji z tlenem.Silan jest niezwykle wrażliwy na tlen i powietrze.Silan o określonym stężeniu będzie również reagował wybuchowo z tlenem w temperaturze -180°C.Silan stał się najważniejszym gazem specjalnym stosowanym w procesach mikroelektroniki półprzewodnikowej i jest stosowany do wytwarzania różnych folii mikroelektronicznych, w tym folii monokrystalicznych, mikrokrystalicznych, polikrystalicznych, tlenku krzemu, azotku krzemu i krzemków metali.Mikroelektroniczne zastosowania silanu wciąż się rozwijają: epitaksja niskotemperaturowa, epitaksja selektywna i epitaksja heteroepitaksjalna.Nie tylko do urządzeń krzemowych i krzemowych układów scalonych, ale także do złożonych urządzeń półprzewodnikowych (arsenek galu, węglik krzemu itp.).Ma również zastosowanie w przygotowaniu materiałów studni kwantowych supersieci.Można powiedzieć, że silan jest stosowany w niemal wszystkich nowoczesnych liniach produkcyjnych układów scalonych w czasach nowożytnych.Zastosowanie silanu jako folii i powłoki zawierającej krzem rozszerzyło się z tradycyjnego przemysłu mikroelektronicznego na różne dziedziny, takie jak stal, maszyny, chemikalia i optyka.Innym potencjalnym zastosowaniem silanu jest wytwarzanie wysokowydajnych ceramicznych części silników, zwłaszcza zastosowanie silanu do produkcji krzemków (Si3N4, SiC itp.) Technologia mikroproszków przyciąga coraz większą uwagę.
①Elektroniczny:
Silan jest nakładany na polikrystaliczne warstwy krzemu na płytkach krzemowych podczas produkcji półprzewodników i uszczelniaczy.
②Słoneczny:
Silan jest stosowany w produkcji modułów fotowoltaicznych.
③Przemysłowe:
Jest stosowany w energooszczędnym zielonym szkle i stosowany do procesu osadzania cienkich warstw z fazy gazowej.
Produkt | Silan SiH4 w płynie | |
wielkość paczki | Cylinder 47 litrów | Y-440L |
Masa netto napełniania/cyl | 10 kg | 125 kg |
ILOŚĆ załadowana do kontenera 20' | 250 cylindrów | 8 cylindrów |
Całkowita waga netto | 2,5 tony | 1 tona |
Masa własna butli | 52 kg | 680 kg |
Zawór | CGA632/DISS632 |
① Ponad dziesięć lat na rynku;
② Producent certyfikatu ISO;
③ Szybka dostawa;
④Stabilne źródło surowców;
⑤ System analizy on-line do kontroli jakości na każdym etapie;
⑥ Wysokie wymagania i skrupulatny proces obsługi butli przed napełnieniem;
⑦Czystość: klasa elektroniczna o wysokiej czystości;
⑧Zastosowanie: materiały na ogniwa słoneczne;wytwarzanie wysokiej czystości polikrzemu, tlenku krzemu i światłowodu;produkcja szkła kolorowego.