Czterofluorek węgla (CF4)

Parametry techniczne

Czterofluorek węgla to halogenowany węglowodór o wzorze chemicznym CF4. Można go traktować jako halogenowany węglowodór, halogenowany metan, perfluorowęglowodór lub jako związek nieorganiczny. Czterofluorek węgla jest bezbarwnym i bezwonnym gazem, nierozpuszczalnym w wodzie, rozpuszczalnym w benzenie i chloroformie. Stabilny w normalnej temperaturze i ciśnieniu, należy unikać silnych utleniaczy oraz materiałów łatwopalnych. Gaz niepalny, ciśnienie wewnętrzne pojemnika wzrasta pod wpływem wysokiej temperatury, co grozi pęknięciem i wybuchem. Jest stabilny chemicznie i niepalny. Tylko ciekły odczynnik amoniakowo-sodowy może działać w temperaturze pokojowej. Czterofluorek węgla to gaz powodujący efekt cieplarniany. Jest bardzo stabilny, może długo utrzymywać się w atmosferze i jest bardzo silnym gazem cieplarnianym. Czterofluorek węgla jest stosowany w procesie trawienia plazmowego różnych układów scalonych. Jest również używany jako gaz laserowy i jest używany w niskotemperaturowych czynnikach chłodniczych, rozpuszczalnikach, środkach smarujących, materiałach izolacyjnych i chłodziwach do detektorów podczerwieni. Jest to najczęściej używany gaz do trawienia plazmowego w przemyśle mikroelektronicznym. Jest to mieszanina tetrafluorometanu o wysokiej czystości i tetrafluorometanu o wysokiej czystości oraz tlenu o wysokiej czystości. Może być szeroko stosowany w krzemie, dwutlenku krzemu, azotku krzemu i szkle fosfokrzemianowym. Trawienie materiałów cienkowarstwowych, takich jak wolfram i wolfram, jest również szeroko stosowane w czyszczeniu powierzchni urządzeń elektronicznych, produkcji ogniw słonecznych, technologii laserowej, chłodnictwie niskotemperaturowym, kontroli szczelności i detergentach w produkcji obwodów drukowanych. Używany jako niskotemperaturowy czynnik chłodniczy i technologia suchego trawienia plazmowego dla układów scalonych. Środki ostrożności dotyczące przechowywania: Przechowywać w chłodnym, wentylowanym, niepalnym magazynie gazowym. Trzymać z dala od ognia i źródeł ciepła. Temperatura przechowywania nie powinna przekraczać 30°C. Należy przechowywać go oddzielnie od materiałów łatwopalnych i utleniaczy, unikając składowania mieszanego. Miejsce składowania powinno być wyposażone w sprzęt do awaryjnego usuwania wycieków.

Aplikacja:

① Czynnik chłodniczy:

Tetrafluorometan jest czasami stosowany jako czynnik chłodniczy w niskich temperaturach.

② Trawienie:

Jest stosowany w mikroobróbce urządzeń elektronicznych samodzielnie lub w połączeniu z tlenem jako środek do trawienia plazmowego krzemu, dwutlenku krzemu i azotku krzemu.

Pakiet normalny:

Korzyść:

①Wysoka czystość, najnowocześniejszy sprzęt;

②Producent certyfikatu ISO;

③Szybka dostawa;

④System analizy on-line do kontroli jakości na każdym etapie;

⑤Wysokie wymagania i skrupulatny proces obchodzenia się z butlą przed napełnieniem;