Tetrafluorek węgla (CF4)

Parametry techniczne

Tetrafluorek węgla to chlorowcowany węglowodór o wzorze chemicznym CF4. Można go uważać za chlorowcowany węglowodór, halogenowany metan, perfluorowęglowodór lub jako związek nieorganiczny. Czterofluorek węgla to bezbarwny i bezwonny gaz, nierozpuszczalny w wodzie, rozpuszczalny w benzenie i chloroformie. Stabilny w normalnej temperaturze i ciśnieniu, unikać silnych utleniaczy oraz materiałów łatwopalnych. Gaz niepalny. Pod wpływem wysokiej temperatury ciśnienie wewnętrzne w pojemniku wzrośnie i istnieje ryzyko pęknięcia i eksplozji. Jest stabilny chemicznie i niepalny. Tylko ciekły odczynnik metaliczny zawierający amoniak i sód może pracować w temperaturze pokojowej. Czterofluorek węgla to gaz powodujący efekt cieplarniany. Jest bardzo stabilny, może długo utrzymywać się w atmosferze i jest bardzo silnym gazem cieplarnianym. Czterofluorek węgla stosuje się w procesie trawienia plazmowego różnych układów scalonych. Jest również stosowany jako gaz laserowy i jest stosowany w niskotemperaturowych czynnikach chłodniczych, rozpuszczalnikach, smarach, materiałach izolacyjnych i chłodziwach do detektorów podczerwieni. Jest to najczęściej używany gaz do trawienia plazmowego w przemyśle mikroelektroniki. Jest to mieszanina gazu tetrafluorometanu o wysokiej czystości i gazu tetrafluorometanu o wysokiej czystości oraz tlenu o wysokiej czystości. Może być szeroko stosowany w krzemie, dwutlenku krzemu, azotku krzemu i szkle fosforokrzemianowym. Trawienie materiałów cienkowarstwowych, takich jak wolfram i wolfram, jest również szeroko stosowane w czyszczeniu powierzchni urządzeń elektronicznych, produkcji ogniw słonecznych, technologii laserowej, chłodnictwie niskotemperaturowym, kontroli szczelności i detergentach w produkcji obwodów drukowanych. Stosowany jako niskotemperaturowy czynnik chłodniczy i technologia suchego trawienia plazmowego w układach scalonych. Środki ostrożności podczas przechowywania: Przechowywać w chłodnym, wentylowanym magazynie niepalnego gazu. Trzymać z dala od ognia i źródeł ciepła. Temperatura przechowywania nie powinna przekraczać 30°C. Należy go przechowywać oddzielnie od łatwopalnych (palnych) materiałów palnych i utleniaczy oraz unikać przechowywania mieszanego. Miejsce składowania powinno być wyposażone w sprzęt do awaryjnego usuwania wycieków.

Aplikacja:

① Czynnik chłodniczy:

Czasami jako niskotemperaturowy czynnik chłodniczy stosuje się tetrafluorometan.

② Trawienie:

Stosuje się go w mikrofabrykacji elektroniki samodzielnie lub w połączeniu z tlenem jako środek trawiący plazmowy krzemu, dwutlenku krzemu i azotku krzemu.

Pakiet normalny:

Korzyść:

①Wysoka czystość, najnowszy obiekt;

②Wytwórca certyfikatu ISO;

③Szybka dostawa;

④System analizy on-line do kontroli jakości na każdym etapie;

⑤Wysokie wymagania i skrupulatny proces obsługi butli przed napełnieniem;