Technologia trawienia suchego jest jednym z kluczowych procesów. Suchy gaz trawienia jest kluczowym materiałem w produkcji półprzewodników i ważnym źródłem gazu do trawienia w osoczu. Jego wydajność bezpośrednio wpływa na jakość i wydajność produktu końcowego. W tym artykule zawiera głównie powszechnie stosowane gazy trawające w procesie trawienia na sucho.
Gazy na bazie fluoru: takie jaktetrafluorek węglowy (CF4), hexafluoroetan (C2F6), trifluorometan (CHF3) i perfluoropropan (C3F8). Gazy te mogą skutecznie generować lotne fluorki podczas trawienia związków krzemowych i krzemowych, osiągając w ten sposób usuwanie materiału.
Gazy na bazie chloru: takie jak chlor (CL2),Trichlor boru (BCL3)i tetrachonek krzemowy (SICL4). Gazy na bazie chloru mogą zapewniać jony chlorkowe podczas procesu trawienia, co pomaga poprawić szybkość trawienia i selektywność.
Gazy na bazie bromu: takie jak brom (BR2) i jodek bromowy (IBR). Gazy oparte na bromach mogą zapewnić lepszą wydajność trawienia w niektórych procesach trawienia, szczególnie podczas trawienia twardych materiałów, takich jak węglika krzemu.
Gazy na bazie azotu i tlenu: takie jak trifluorek azotu (NF3) i tlen (O2). Gazy te są zwykle używane do dostosowania warunków reakcji w procesie trawienia w celu poprawy selektywności i kierunkowości trawienia.
Gazy te osiągają precyzyjne trawienie powierzchni materiału poprzez połączenie fizycznego rozpylania i reakcji chemicznych podczas trawienia w osoczu. Wybór gazu trawienia zależy od rodzaju trawienia materiału, wymagań selektywności trawienia i pożądanej szybkości trawienia.
Czas postu: lutego-08-2025
