ElektronicznyGazy specjalnesą ważną gałęzią gazów specjalnych. Penetrują prawie każde ogniwo produkcji półprzewodników i są niezbędnymi surowcami do produkcji branż elektronicznych, takich jak bardzo duże obwody zintegrowane, urządzenia wyświetlające płaskie panele i ogniwa słoneczne.

W technologii półprzewodnikowej szeroko stosowane są gazy zawierające fluor. Obecnie na globalnym rynku gazów elektronicznych gazy elektroniczne zawierające fluorowe stanowią około 30% całości. Gazy elektroniczne zawierające fluorowe są ważnym składnikiem specjalnych gazów elektronicznych w dziedzinie elektronicznych materiałów informacyjnych. Są one głównie stosowane jako środki czyszczące i środki trawienia, a także mogą być stosowane jako domieszki, materiały do ​​tworzenia filmów itp. W tym artykule autor zabierze Cię do zrozumienia wspólnych gazów zawierających fluor.

Następujące są powszechnie stosowane gazy zawierające fluor

Trifluorek azotu (NF3): gaz stosowany do czyszczenia i usuwania złóż, zwykle stosowany do czyszczenia komory reakcji i powierzchni sprzętu.

Heksakfluorek siarki (SF6): Środek fluorkowy stosowany w procesach osadzania tlenku i jako gaz izolacyjny do wypełniania pożywek izolacyjnych.

Fluor wodoru (HF): stosowany do usuwania tlenków z powierzchni krzemowej i jako etapowania krzem i innych materiałów.

Fluor azotu (NF): stosowany do trawienia, takich jak azotek krzemu (SIN) i azotek aluminium (ALN).

Trifluorometan (CHF3) itetrafluorometan (CF4): Stosowany do trawienia materiałów fluorkowych, takich jak fluor silikonowy i fluor aluminiowy.

Jednak gazy zawierające fluorowe mają pewne niebezpieczeństwa, w tym toksyczność, korozję i łatwopalność.

Toksyczność

Niektóre gazy zawierające fluorowe są toksyczne, takie jak fluor wodorowy (HF), którego para jest wysoce podrażniająca dla skóry i dróg oddechowych i szkodliwe dla zdrowia ludzkiego.

Korozyjność

Fluor wodór i niektóre fluorki są wysoce żrące i mogą powodować poważne uszkodzenie skóry, oczu i dróg oddechowych.

Łatwopalność

Niektóre fluorki są łatwopalne i reagują z tlenem lub wodą w powietrzu w celu uwalniania intensywnych ciepła i toksycznych gazów, które mogą powodować pożar lub eksplozję.

Zagrożenie pod wysokim ciśnieniem

Niektóre fluorowane gazy są wybuchowe pod wysokim ciśnieniem i wymagają szczególnej ostrożności, gdy są używane i przechowywane.

Wpływ na środowisko

Gazy zawierające fluorowe mają wysokie okresy życia atmosferyczne i wartości GWP, które mają destrukcyjny wpływ na atmosferyczną warstwę ozonową i mogą powodować globalne ocieplenie i zanieczyszczenie środowiska.

Zastosowanie gazów w pojawiających się dziedzinach, takich jak elektronika, wciąż się pogłębia, przynosząc duży nowy zapotrzebowanie na gaz przemysłowy. W oparciu o dużą ilość nowych zdolności produkcyjnych głównych komponentów elektronicznych, takich jak półprzewodniki i panele wyświetlane w Chinach kontynentalnych w ciągu najbliższych kilku lat, a także silnego popytu na zastąpienie importowe elektronicznych materiałów chemicznych, krajowy przemysł gazu elektronicznego wprowadzi wysoką stopę wzrostu.