Elektronicznygazy specjalnestanowią ważną gałąź gazów specjalnych. Przenikają niemal do każdego ogniwa produkcji półprzewodników i są niezbędnymi surowcami do produkcji w przemyśle elektronicznym, takim jak wielkogabarytowe układy scalone, wyświetlacze płaskoekranowe i ogniwa słoneczne.

W technologii półprzewodników szeroko stosowane są gazy zawierające fluor. Obecnie na światowym rynku gazów elektronicznych gazy elektroniczne zawierające fluor stanowią około 30% całości. Gazy elektroniczne zawierające fluor są ważnym składnikiem specjalnych gazów elektronicznych w dziedzinie elektronicznych materiałów informacyjnych. Stosowane są głównie jako środki czyszczące i wytrawiające, ale mogą być również stosowane jako domieszki, materiały błonotwórcze itp. W tym artykule autor przybliży Ci popularne gazy zawierające fluor.

Poniżej przedstawiono powszechnie stosowane gazy zawierające fluor

Trifluorek azotu (NF3): Gaz używany do czyszczenia i usuwania osadów, zwykle używany do czyszczenia komór reakcyjnych i powierzchni urządzeń.

Sześciofluorek siarki (SF6): Środek fluorujący stosowany w procesach osadzania tlenków oraz jako gaz izolacyjny do wypełniania mediów izolacyjnych.

Fluorowodór (HF): Stosowany do usuwania tlenków z powierzchni krzemu oraz jako środek trawiący do trawienia krzemu i innych materiałów.

Fluorek azotu (NF): używany do trawienia materiałów takich jak azotek krzemu (SiN) i azotek glinu (AlN).

Trifluorometan (CHF3) itetrafluorometan (CF4): Stosowany do trawienia materiałów fluorkowych, takich jak fluorek krzemu i fluorek glinu.

Jednakże gazy zawierające fluor niosą ze sobą pewne zagrożenia, w tym toksyczność, korozyjność i łatwopalność.

Toksyczność

Niektóre gazy zawierające fluor są toksyczne, np. fluorowodór (HF), którego opary działają silnie drażniąco na skórę i drogi oddechowe oraz są szkodliwe dla zdrowia ludzkiego.

Korozyjność

Fluorowodór i niektóre fluorki są silnie żrące i mogą powodować poważne uszkodzenia skóry, oczu i dróg oddechowych.

Palność

Niektóre fluorki są łatwopalne i reagują z tlenem lub wodą w powietrzu, wydzielając intensywne ciepło i toksyczne gazy, które mogą spowodować pożar lub eksplozję.

Zagrożenie wysokim ciśnieniem

Niektóre gazy fluorowane są wybuchowe pod wysokim ciśnieniem i wymagają szczególnej ostrożności podczas użytkowania i przechowywania.

Wpływ na środowisko

Gazy zawierające fluor mają długi czas życia w atmosferze i wysokie wartości GWP, co ma destrukcyjny wpływ na atmosferyczną warstwę ozonową i może powodować globalne ocieplenie i zanieczyszczenie środowiska.

Zastosowanie gazów w nowych dziedzinach, takich jak elektronika, stale się pogłębia, powodując duże nowe zapotrzebowanie na gazy przemysłowe. W oparciu o dużą ilość nowych mocy produkcyjnych głównych komponentów elektronicznych, takich jak półprzewodniki i panele wyświetlaczy, w Chinach kontynentalnych w ciągu najbliższych kilku lat, a także duży popyt na substytuty importu elektronicznych materiałów chemicznych, krajowy przemysł gazu elektronicznego wprowadzi wysokie tempo wzrostu.