Elektronicznygazy specjalneStanowią ważną gałąź gazów specjalnych. Przenikają przez niemal każdy etap produkcji półprzewodników i są niezbędnymi surowcami w przemyśle elektronicznym, takim jak układy scalone o bardzo dużej skali integracji (ULS), wyświetlacze płaskoekranowe (PVS) i ogniwa słoneczne.

W technologii półprzewodników gazy zawierające fluor są szeroko stosowane. Obecnie na globalnym rynku gazów elektronicznych gazy zawierające fluor stanowią około 30% całości. Gazy elektroniczne zawierające fluor są ważnym składnikiem specjalnych gazów elektronicznych w dziedzinie elektronicznych materiałów informacyjnych. Są one głównie stosowane jako środki czyszczące i trawiące, a także jako domieszki, materiały powłokotwórcze itp. W tym artykule autor przybliży czytelnikom popularne gazy zawierające fluor.

Poniżej przedstawiono powszechnie stosowane gazy zawierające fluor

Trifluorek azotu (NF3): Gaz stosowany do czyszczenia i usuwania osadów, zwykle używany do czyszczenia komór reakcyjnych i powierzchni urządzeń.

Sześciofluorek siarki (SF6):Środek fluorujący stosowany w procesach osadzania tlenków oraz jako gaz izolacyjny do wypełniania mediów izolacyjnych.

Fluorek wodoru (HF): Stosowany do usuwania tlenków z powierzchni krzemu oraz jako środek trawiący krzem i inne materiały.

Fluorek azotu (NF): Stosowany do trawienia materiałów takich jak azotek krzemu (SiN) i azotek glinu (AlN).

Trifluorometan (CHF3) itetrafluorometan (CF4):Służy do trawienia materiałów fluorkowych, takich jak fluorek krzemu i fluorek glinu.

Jednak gazy zawierające fluor niosą ze sobą pewne zagrożenia, m.in. są toksyczne, żrące i łatwopalne.

Toksyczność

Niektóre gazy zawierające fluor są toksyczne, np. fluorowodór (HF), którego opary działają silnie drażniąco na skórę i drogi oddechowe oraz są szkodliwe dla zdrowia ludzi.

Żrący

Fluorowodór i niektóre fluorki są silnie żrące i mogą powodować poważne uszkodzenia skóry, oczu i układu oddechowego.

Łatwopalność

Niektóre fluorki są łatwopalne i reagują z tlenem lub wodą w powietrzu, wydzielając intensywne ciepło i toksyczne gazy, które mogą spowodować pożar lub wybuch.

Zagrożenie wysokim ciśnieniem

Niektóre gazy fluorowane są wybuchowe w warunkach wysokiego ciśnienia, dlatego wymagają szczególnej ostrożności podczas ich stosowania i przechowywania.

Wpływ na środowisko

Gazy zawierające fluor mają długi czas utrzymywania się w atmosferze i wysoki współczynnik GWP, co ma destrukcyjny wpływ na warstwę ozonową atmosfery i może powodować globalne ocieplenie i zanieczyszczenie środowiska.

Zastosowanie gazów w rozwijających się dziedzinach, takich jak elektronika, stale się pogłębia, generując duże zapotrzebowanie na gazy przemysłowe. Biorąc pod uwagę dużą liczbę nowych mocy produkcyjnych głównych komponentów elektronicznych, takich jak półprzewodniki i wyświetlacze, w Chinach kontynentalnych w ciągu najbliższych kilku lat, a także silny popyt na importowane materiały chemiczne do elektroniki, krajowy przemysł gazów elektronicznych odnotuje wysokie tempo wzrostu.