Do powszechnie stosowanych specjalnych gazów elektronicznych zawierających fluor należą:sześciofluorek siarki (SF6), sześciofluorek wolframu (WF6),czterofluorek węgla (CF4), trifluorometan (CHF3), trifluorek azotu (NF3), heksafluoroetan (C2F6) i oktafluoropropan (C3F8).
Wraz z rozwojem nanotechnologii i masowym rozwojem przemysłu elektronicznego, popyt na ten gaz będzie rósł z dnia na dzień. Fluorek azotu, jako niezbędny i najczęściej stosowany gaz specjalny w elektronice w produkcji i przetwarzaniu paneli i półprzewodników, ma szeroką pozycję rynkową.
Jako rodzaj specjalnego gazu zawierającego fluor,trójfluorek azotu (NF3)to specjalny gaz elektroniczny o największym potencjale rynkowym. Jest chemicznie obojętny w temperaturze pokojowej, bardziej aktywny niż tlen w wysokiej temperaturze, bardziej stabilny niż fluor i łatwy w użyciu. Trifluorek azotu jest stosowany głównie jako gaz do trawienia plazmowego oraz środek czyszczący do komór reakcyjnych i nadaje się do produkcji układów półprzewodnikowych, wyświetlaczy LCD, światłowodów, ogniw fotowoltaicznych itp.
W porównaniu z innymi gazami elektronicznymi zawierającymi fluor,trójfluorek azotuCharakteryzuje się szybką reakcją i wysoką wydajnością. Szczególnie w przypadku trawienia materiałów zawierających krzem, takich jak azotek krzemu, charakteryzuje się wysoką szybkością i selektywnością trawienia, nie pozostawiając osadu na powierzchni trawionego przedmiotu. Jest również bardzo dobrym środkiem czyszczącym i nie zanieczyszcza powierzchni, co pozwala sprostać wymaganiom procesu obróbki.
Czas publikacji: 14.09.2024
