Wspólne specjalne gazy elektroniczne zawierające fluor obejmująheksakfluorek siarki (SF6), Tungsten Hexafluoride (WF6),tetrafluorek węglowy (CF4), trifluorometan (CHF3), trifluorek azotu (NF3), hexafluoroetan (C2F6) i okafluoropropan (C3F8).
Wraz z rozwojem nanotechnologii i rozwoju branży elektronicznej na dużą skalę jego popyt na dzień będzie rosło. Trifluorek azotu, jako niezbędny i największy specjalny gaz elektroniczny w produkcji i przetwarzaniu paneli i półprzewodników, ma szeroką przestrzeń rynkową.
Jako rodzaj specjalnego gazu zawierającego fluor,Trifluorek azotu (NF3)jest elektronicznym specjalnym produktem gazowym o największej zdolności rynkowej. Jest chemicznie obojętny w temperaturze pokojowej, bardziej aktywny niż tlen w wysokiej temperaturze, bardziej stabilny niż fluor i łatwy w obsłudze. Trifluorek azotu jest stosowany głównie jako gaz trawający w osoczu i środek czyszczący komorę reakcji i nadaje się do pól produkcyjnych układów półprzewodnikowych, wyświetlaczy płaskich paneli, włókien optycznych, ogniw fotowoltaicznych itp.
W porównaniu z innymi elektronicznymi gazami zawierającymi fluor,Trifluorek azotuma zalety szybkiej reakcji i wysokiej wydajności. Zwłaszcza w trawieniu materiałów zawierających krzem, takich jak azotek krzemu, ma wysoką szybkość trawienia i selektywność, nie pozostawiając pozostałości na powierzchni wytrawionego obiektu. Jest to również bardzo dobry środek czyszczący i nie ma zanieczyszczenia na powierzchni, co może zaspokoić potrzeby procesu przetwarzania.
Czas po: 14-2024 września
