W 2018 roku światowy rynek gazów elektronicznych dla układów scalonych osiągnął wartość 4,512 mld USD, co oznacza wzrost o 16% rok do roku.Wysokie tempo wzrostu przemysłu elektronicznego gazu specjalnego dla półprzewodników i ogromny rozmiar rynku przyspieszyły krajowy plan wymiany elektronicznego gazu specjalnego!
Co to jest gaz elektronowy?
Gaz elektroniczny odnosi się do podstawowego materiału źródłowego używanego w produkcji półprzewodników, płaskich wyświetlaczy panelowych, diod elektroluminescencyjnych, ogniw słonecznych i innych produktów elektronicznych i jest szeroko stosowany w czyszczeniu, trawieniu, tworzeniu błon, domieszkowaniu i innych procesach.Główne obszary zastosowań gazu elektronicznego obejmują przemysł elektroniczny, ogniwa słoneczne, komunikację mobilną, nawigację samochodową oraz samochodowe systemy audio i wideo, lotnictwo, przemysł wojskowy i wiele innych dziedzin.
Elektroniczne gazy specjalne można podzielić na siedem kategorii według własnego składu chemicznego: krzem, arsen, fosfor, bor, wodorki metali, halogenki i alkoholany metali.Zgodnie z różnymi metodami aplikacji w układach scalonych można go podzielić na gaz domieszkujący, gaz epitaksji, gaz do implantacji jonów, gaz diody elektroluminescencyjnej, gaz trawiący, gaz do chemicznego osadzania z fazy gazowej i gaz bilansujący.W przemyśle półprzewodników stosuje się ponad 110 jednostkowych gazów specjalnych, z których ponad 30 jest powszechnie stosowanych.
Ogólnie przemysł produkcji półprzewodników dzieli gazy na dwa rodzaje: gazy zwykłe i gazy specjalne.Wśród nich powszechnie używany gaz odnosi się do scentralizowanego zaopatrzenia i zużywa dużo gazu, takiego jak N2, H2, O2, Ar, He itp. Gaz specjalny odnosi się do niektórych gazów chemicznych stosowanych w procesie produkcji półprzewodników, takich jak wydłużanie, wstrzykiwanie jonów, mieszanie, mycie i tworzenie masek, czyli to, co obecnie nazywamy elektronicznym gazem specjalnym, takim jak wysokiej czystości SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 itp.
W całym procesie produkcyjnym przemysłu półprzewodnikowego, od wzrostu chipa do końcowego opakowania urządzenia, prawie każde ogniwo jest nierozerwalnie związane ze specjalnym gazem elektronicznym oraz różnorodnością używanego gazu i wysokimi wymaganiami jakościowymi, więc gaz elektroniczny ma materiały półprzewodnikowe."Żywność".
W ostatnich latach główne komponenty elektroniczne w Chinach, takie jak półprzewodniki i panele wyświetlaczy, zwiększyły nowe moce produkcyjne i istnieje duże zapotrzebowanie na zastąpienie importu elektronicznych materiałów chemicznych.Pozycja gazów elektronicznych w przemyśle półprzewodnikowym staje się coraz bardziej widoczna.Krajowy przemysł elektroniczny gazowy zapoczątkuje szybki wzrost.
Elektroniczny gaz specjalny ma bardzo wysokie wymagania dotyczące czystości, ponieważ jeśli czystość nie spełnia wymagań, grupy zanieczyszczeń, takie jak para wodna i tlen w elektronicznym gazie specjalnym, łatwo utworzą warstwę tlenku na powierzchni półprzewodnika, co wpływa na żywotność urządzeń elektronicznych, a specjalny gaz elektroniczny zawiera Cząsteczki zanieczyszczeń mogą powodować zwarcia półprzewodników i uszkodzenia obwodów.Można powiedzieć, że poprawa czystości odgrywa istotną rolę w wydajności i wydajności produkcji urządzeń elektronicznych.
Wraz z ciągłym rozwojem przemysłu półprzewodnikowego, proces produkcji chipów wciąż się poprawia, a teraz osiągnął 5 nm, czyli zbliża się do granicy prawa Moore'a, która jest równoważna jednej dwudziestej średnicy ludzkiego włosa ( około 0,1mm).Dlatego stawia to również wyższe wymagania dotyczące czystości elektronicznego gazu specjalnego wytwarzanego przez półprzewodniki.
Czas postu: 15 grudnia 2021 r
