W 2018 r. światowy rynek gazów elektronicznych dla układów scalonych osiągnął poziom 4,512 mld USD, co oznacza wzrost o 16% rok do roku. Wysokie tempo wzrostu branży elektronicznego gazu specjalnego dla półprzewodników i ogromna wielkość rynku przyspieszyły krajowy plan zastąpienia specjalnego gazu elektronicznego!
Co to jest gaz elektronowy?
Gaz elektroniczny odnosi się do podstawowego materiału źródłowego stosowanego w produkcji półprzewodników, wyświetlaczy płaskich, diod elektroluminescencyjnych, ogniw słonecznych i innych produktów elektronicznych i jest szeroko stosowany w procesach czyszczenia, trawienia, tworzenia folii, domieszkowaniu i innych procesach. Główne obszary zastosowań gazu elektronicznego obejmują przemysł elektroniczny, ogniwa słoneczne, komunikację mobilną, nawigację samochodową oraz samochodowe systemy audio i wideo, przemysł lotniczy i kosmiczny, przemysł wojskowy i wiele innych dziedzin.
Elektroniczny gaz specjalny można podzielić na siedem kategorii w zależności od jego składu chemicznego: krzem, arsen, fosfor, bor, wodorek metalu, halogenek i alkoholan metalu. Według różnych metod stosowania w układach scalonych można go podzielić na gaz domieszkujący, gaz epitaksyjny, gaz do implantacji jonów, gaz z diod elektroluminescencyjnych, gaz trawiący, gaz do chemicznego osadzania z fazy gazowej i gaz równoważący. W przemyśle półprzewodników stosuje się ponad 110 jednostek gazów specjalnych, z których ponad 30 jest powszechnie stosowanych.
Ogólnie rzecz biorąc, przemysł produkcji półprzewodników dzieli gazy na dwa typy: gazy zwykłe i gazy specjalne. Wśród nich powszechnie używany gaz odnosi się do scentralizowanego zaopatrzenia i wykorzystuje duże ilości gazu, takiego jak N2, H2, O2, Ar, He itp. Gaz specjalny odnosi się do niektórych gazów chemicznych stosowanych w procesie produkcji półprzewodników, takich jak rozciąganie, wtryskiwanie jonów, mieszanie, przemywanie i tworzenie maski, czyli to, co obecnie nazywamy elektronicznym gazem specjalnym, takim jak wysokiej czystości SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 itp.
W całym procesie produkcyjnym w branży półprzewodników, od wzrostu chipów po końcowe opakowanie urządzenia, prawie każde ogniwo jest nierozerwalnie związane ze specjalnym gazem elektronicznym oraz różnorodnością stosowanego gazu i wysokimi wymaganiami jakościowymi, dlatego gaz elektroniczny ma materiały półprzewodnikowe. "Żywność".
W ostatnich latach w Chinach zwiększono moce produkcyjne głównych komponentów elektronicznych, takich jak półprzewodniki i panele wyświetlaczy, w związku z czym istnieje duże zapotrzebowanie na substytuty importu elektronicznych materiałów chemicznych. Pozycja gazów elektronicznych w przemyśle półprzewodników staje się coraz bardziej widoczna. Krajowy przemysł gazu elektronicznego zapoczątkuje szybki rozwój.
Elektroniczny gaz specjalny ma bardzo wysokie wymagania dotyczące czystości, ponieważ jeśli czystość nie spełnia wymagań, grupy zanieczyszczeń, takie jak para wodna i tlen w elektronicznym gazie specjalnym, z łatwością utworzą warstwę tlenkową na powierzchni półprzewodnika, co wpływa na żywotność urządzeń elektronicznych i specjalnego gazu elektronicznego. Cząsteczki zanieczyszczeń mogą powodować zwarcia półprzewodników i uszkodzenia obwodów. Można powiedzieć, że poprawa czystości odgrywa kluczową rolę w wydajności i wydajności produkcji urządzeń elektronicznych.
Wraz z ciągłym rozwojem przemysłu półprzewodników proces produkcji chipów wciąż się udoskonala i obecnie osiągnął 5 nm, co wkrótce zbliży się do granicy prawa Moore'a, która odpowiada jednej dwudziestej średnicy ludzkiego włosa ( około 0,1mm). Dlatego też stawia to wyższe wymagania dotyczące czystości specjalnego gazu elektronicznego wytwarzanego przez półprzewodniki.
Czas publikacji: 15 grudnia 2021 r
