W 2018 r. Globalny rynek gazów elektronicznych dla obwodów zintegrowanych osiągnął 4,512 mld USD, co stanowi wzrost o 16%rok do roku. Wysoka stopa wzrostu elektronicznego przemysłu gazowego specjalnego dla półprzewodników i ogromna wielkość rynku przyspieszyły krajowy plan substytucyjny elektronicznego gazu specjalnego!
Co to jest gaz elektronowy?
Gaz elektroniczny odnosi się do podstawowego materiału źródłowego stosowanego w produkcji półprzewodników, płaskich wyświetlaczy panelu, diod emitujących światło, ogniw słonecznych i innych produktów elektronicznych, i jest szeroko stosowany w czyszczeniu, trawaniu, tworzeniu folii, domieszkowaniu i innych procesach. Główne obszary zastosowania gazu elektronicznego obejmują przemysł elektroniczny, ogniwa słoneczne, komunikację mobilną, nawigację samochodową oraz systemy audio i wideo samochodowe, przemysł lotniczy, przemysł wojskowy i wiele innych dziedzin.
Elektroniczny specjalny gaz można podzielić na siedem kategorii zgodnie z własnym składem chemicznym: krzem, arsen, fosfor, bor, wodorek metalu, halogenku i alkoksyd metalu. Zgodnie z różnymi metodami zastosowania w zintegrowanych obwodach można go podzielić na gaz domieszkowy, gaz epitaksji, gaz implantacyjny jonowego, gazowy gaz, gaz trawiący, gaz chemiczny odkładania pary i bilansowy gaz. W przemyśle półprzewodników stosuje się ponad 110 jednostkowych gimów specjalnych, z czego powszechnie stosuje się ponad 30.
Zasadniczo przemysł produkcyjny półprzewodników dzieli gazy na dwa typy: gazy wspólne i gazy specjalne. Wśród nich powszechnie używany gaz odnosi się do scentralizowanej podaży i wykorzystuje dużo gazu, takich jak N2, H2, O2, AR, HE itp. Gaz specjalny odnosi się do niektórych gazów chemicznych stosowanych w procesie produkcji półprzewodników, takich jak rozszerzenie, wtrysk jonów, mieszanie, mycie i tworzenie maski, które są teraz tworzeniem specjalnego gazu elektronicznego, takie jak SIH 3, ph3, B2H6, N2O, N2O, N2O, N2O, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 itp.
W całym procesie produkcyjnym przemysłu półprzewodnikowego, od wzrostu chipów po końcowe opakowanie urządzeń, prawie każdy link jest nierozerwalnie związany z elektronicznym gazem specjalnym oraz różnorodność wymagań używanych i wysokiej jakości gazu, więc gaz elektroniczny ma materiały półprzewodników. "Żywność".
W ostatnich latach główne komponenty elektroniczne w Chinach, takie jak półprzewodniki i panele wyświetlacze, wzrosły nowe zdolności produkcyjne i istnieje duży zapotrzebowanie na zastąpienie importu elektronicznych materiałów chemicznych. Pozycja gazów elektronicznych w przemyśle półprzewodników staje się coraz bardziej widoczna. Krajowy przemysł gazu elektronicznego wprowadzi szybki wzrost.
Elektroniczny specjalny gaz ma bardzo wysokie wymagania dotyczące czystości, ponieważ jeśli czystość nie jest zgodna z wymaganiami, grupy zanieczyszczeń, takie jak pary wodne i tlen w elektronicznym gazie specjalnym, z łatwością tworzy folia tlenku na powierzchni półprzewodnika, co wpływa na żywotność usług urządzeń elektronicznych, a elektroniczny specjalny gaz zawiera cząstki zaniedbania zaniedbań, mogą powodować półprzewodniki i obroty. Można powiedzieć, że poprawa czystości odgrywa istotną rolę w wydajności i wydajności produkcji urządzeń elektronicznych.
Wraz z ciągłym rozwojem przemysłu półprzewodnikowego proces produkcji chipów nadal się poprawia, a teraz osiągnął 5 nm, co ma zamiar zbliżyć się do granicy prawa Moore'a, co jest równoważne jednej dwudziestej średnicy ludzkich włosów (około 0,1 mm). Dlatego przedstawia to również wyższe wymagania dotyczące czystości elektronicznego specjalnego gazu wytwarzanego przez półprzewodniki.
Czas po: DED-15-2021
