W 2018 roku globalny rynek gazu elektronicznego dla układów scalonych osiągnął wartość 4,512 mld USD, co oznacza wzrost o 16% w ujęciu rok do roku. Wysokie tempo wzrostu branży gazu elektronicznego specjalnego dla półprzewodników i ogromny rozmiar rynku przyspieszyły realizację krajowego planu substytucji gazu elektronicznego specjalnego!
Czym jest gaz elektronowy?
Gaz elektroniczny to podstawowy materiał źródłowy wykorzystywany w produkcji półprzewodników, wyświetlaczy płaskich, diod elektroluminescencyjnych, ogniw słonecznych i innych produktów elektronicznych. Jest szeroko stosowany w czyszczeniu, trawieniu, formowaniu powłok, domieszkowaniu i innych procesach. Główne obszary zastosowań gazu elektronicznego obejmują przemysł elektroniczny, ogniwa słoneczne, komunikację mobilną, nawigację samochodową oraz samochodowe systemy audio i wideo, przemysł lotniczy i kosmiczny, przemysł wojskowy i wiele innych dziedzin.
Specjalny gaz elektroniczny można podzielić na siedem kategorii, w zależności od jego składu chemicznego: krzem, arsen, fosfor, bor, wodorek metalu, halogenek i alkoholan metalu. Ze względu na różne metody aplikacji w układach scalonych, gaz ten można podzielić na gaz domieszkujący, gaz epitaksjalny, gaz implantacji jonów, gaz do diod elektroluminescencyjnych, gaz trawiący, gaz do chemicznego osadzania z fazy gazowej i gaz równoważący. W przemyśle półprzewodnikowym stosuje się ponad 110 rodzajów gazów specjalnych, z czego ponad 30 jest powszechnie stosowanych.
Generalnie, przemysł produkcji półprzewodników dzieli gazy na dwa rodzaje: gazy powszechnego użytku i gazy specjalne. Wśród nich gaz powszechnie używany odnosi się do scentralizowanego systemu dostaw i zużywa dużo gazu, takiego jak N₂, H₂, O₂, Ar, He itp. Gaz specjalny odnosi się do niektórych gazów chemicznych używanych w procesie produkcji półprzewodników, takich jak wydłużanie, wtryskiwanie jonów, mieszanie, płukanie i formowanie maski, co obecnie nazywamy gazami specjalnymi do zastosowań elektronicznych, takimi jak SiH₂, PH₂, AsH₂, B₂H₂, N₂O, NH₂, SF₂, NF₂, CF₂, BCl₂, BF₂, HCl, Cl₂ itp.
W całym procesie produkcyjnym przemysłu półprzewodnikowego, od wzrostu chipa do finalnego opakowania urządzenia, niemal każde ogniwo jest nierozerwalnie związane ze specjalnym gazem elektronicznym. Różnorodność stosowanych gazów i wysokie wymagania jakościowe sprawiają, że gaz elektroniczny ma zastosowanie w materiałach półprzewodnikowych. „Żywność”.
W ostatnich latach chińskie moce produkcyjne w zakresie głównych podzespołów elektronicznych, takich jak półprzewodniki i panele wyświetlaczy, wzrosły, a zapotrzebowanie na import materiałów chemicznych do elektroniki znacznie wzrosło. Gazy elektroniczne zyskują coraz większe znaczenie w przemyśle półprzewodników. Krajowy przemysł gazów elektronicznych będzie dynamicznie się rozwijał.
Gaz specjalny do zastosowań elektronicznych ma bardzo wysokie wymagania dotyczące czystości. Jeśli nie spełnia on wymagań, grupy zanieczyszczeń, takie jak para wodna i tlen, łatwo tworzą warstwę tlenków na powierzchni półprzewodników, co wpływa na żywotność urządzeń elektronicznych. Ponadto gaz specjalny do zastosowań elektronicznych zawiera cząsteczki zanieczyszczeń, które mogą powodować zwarcia i uszkodzenia obwodów półprzewodników. Można powiedzieć, że poprawa czystości odgrywa kluczową rolę w wydajności i wydajności produkcji urządzeń elektronicznych.
Wraz z ciągłym rozwojem przemysłu półprzewodnikowego, proces produkcji chipów jest stale udoskonalany i osiągnął już 5 nm, co zbliża się do granicy prawa Moore'a, odpowiadającej jednej dwudziestej średnicy ludzkiego włosa (około 0,1 mm). W związku z tym stawia to również wyższe wymagania dotyczące czystości specjalnego gazu elektronicznego wytwarzanego przez półprzewodniki.
Czas publikacji: 15 grudnia 2021 r.
