ChlorowodórChlorowodór to bezbarwny gaz o ostrym zapachu. Jego wodny roztwór nazywa się kwasem solnym. Chlorowodór jest bardzo dobrze rozpuszczalny w wodzie. W temperaturze 0°C 1 objętość wody może rozpuścić około 500 objętości chlorowodoru.

Posiada następujące właściwości i charakterystyki:

1. Wysoka czystość

Czystość klasy elektronicznejchlorowodórjest bardzo wysoki, zwykle na poziomie ppm lub niższym, co ma na celu zapewnienie, że do procesu produkcji półprzewodników nie przedostaną się żadne zanieczyszczenia.

2. Bezwładność

Jest to gaz chemicznie obojętny, który nie reaguje z wieloma innymi substancjami, co ma kluczowe znaczenie dla zapobiegania zanieczyszczeniu materiałów i urządzeń półprzewodnikowych.

3. Wysoka stabilność

Stopień elektronicznychlorowodórma na ogół stabilną chemię, co zapewnia niezawodność przetwarzania półprzewodników.

W przetwórstwie półprzewodników główne zastosowania chlorowodoru klasy elektronicznej obejmują:

1. Czyszczenie i przygotowanie powierzchni

Jako wydajny środek do czyszczenia powierzchni, klasa elektronicznachlorowodórsłuży do usuwania tlenków i zanieczyszczeń z powierzchni podłoża w celu zapewnienia jakości i czystości warstwy epitaksjalnej lub filmu.

2. Środek wspomagający wzrost epitaksjalny

Stosowany jako środek do obróbki powierzchni w procesie epitaksjalnym, pomaga poprawić jakość warstwy epitaksjalnej, poprawić dopasowanie sieci i ograniczyć powstawanie defektów sieci.

3. Wstępna obróbka podłoża

Przed przygotowaniem urządzeń półprzewodnikowych, klasa elektronicznachlorowodórmoże być stosowany do obróbki powierzchni podłoża w celu utworzenia stabilnej podstawy, która poprawi przyczepność pomiędzy warstwą epitaksjalną a podłożem.

4. Środek pomocniczy do osadzania

W procesie osadzania chemicznego z fazy gazowej (CVD) lub fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD) chlorowodór o jakości elektronicznej może być stosowany jako medium transferowe w fazie gazowej, uczestnicząc w reakcji osadzania materiałów półprzewodnikowych.

5. Środek przenoszący fazę gazową

Jako środek przenoszący fazę gazową do komory reakcyjnej wprowadzane są inne prekursory gazowe, które pomagają regulować szybkość osadzania i jednorodność materiału.

Te cechy sprawiają, że klasa elektronicznachlorowodórważny czynnik przetwarzania w technologii półprzewodnikowej, który ma kluczowy wpływ na wydajność i niezawodność końcowego urządzenia.

Oprócz zastosowania w przetwórstwie półprzewodników, chlorowodór klasy elektronicznej może znaleźć szereg zastosowań w innych dziedzinach, w tym: przygotowywaniu materiałów o wysokiej czystości, ogniwach paliwowych, wzroście materiałów półprzewodnikowych, litografii gazowej, analizie materiałów, badaniach chemicznych.

Ogólnie rzecz biorąc, stopień elektronicznychlorowodórjest wszechstronnym gazem o wysokiej czystości, który ma szeroki wachlarz zastosowań poza produkcją półprzewodników.