Chlorek wodorujest bezbarwnym gazem o ostrym zapachu. Jego wodny roztwór nazywa się kwasem solnym, znanym również jako kwas solny. Chlorek wodoru jest bardzo rozpuszczalny w wodzie. W 0 ° C 1 objętość wody może rozpuścić około 500 objętości chlorku wodoru.

Ma następujące właściwości i cechy:

1. Wysoka czystość

Czystość klasy elektronicznejChlorek wodorujest bardzo wysoki, zwykle na PPM lub na niższym poziomie, aby upewnić się, że do procesu produkcji półprzewodników nie wprowadzono żadnych zanieczyszczeń.

2. Bezwładność

Jest to chemicznie obojętny gaz, który nie reaguje z wieloma innymi substancjami, co jest bardzo ważne, aby zapobiec zanieczyszczeniu materiałów i sprzętu półprzewodników.

3. Wysoka stabilność

Ocena elektronicznaChlorek wodoruZasadniczo ma stabilną chemię, aby zapewnić niezawodne przetwarzanie półprzewodników.

W przetwarzaniu półprzewodnikowym główne zastosowania chlorku wodoru elektronicznego obejmują:

1. Czyszczenie powierzchni i przygotowanie

Jako wydajny czyszczniejszy powierzchnia, klasa elektronicznaChlorek wodorusłuży do usuwania tlenków i zanieczyszczeń z powierzchni podłoża, aby zapewnić jakość i czystość warstwy epitaksjalnej lub folii.

2. POPITAKSJA POMOJA

Stosowany jako środek do obróbki powierzchni w procesie epitaksjalnym, pomaga poprawić jakość warstwy epitaksjalnej, poprawić dopasowanie sieci i zmniejszyć tworzenie się wad sieciowych.

3. Wstępna obróbka substratu

Przed przygotowaniem urządzeń półprzewodników, ocena elektronicznaChlorek wodoruMoże być stosowany do leczenia powierzchni podłoża w celu utworzenia stabilnej podstawy w celu poprawy przyczepności między warstwą epitaksjalną a podłożem.

4. Agent pomocniczy zeznań

W procesie chemicznego odkładania pary (CVD) lub fizycznego osadzania pary (PVD) chlorek wodoru o stopniu elektronicznym można zastosować jako pożywkę przenoszącą fazę gazową, aby uczestniczyć w reakcji osadzania materiałów półprzewodnikowych.

5. Środek transferowy w fazie gazowej

Jako środek przenoszący fazę gazową do komory reakcji wprowadzono inne prekursory gazowe, aby dostosować szybkość osadzania i jednolitość materiału.

Te cechy tworzą klasę elektronicznąChlorek wodoruWażny agent przetwarzania technologii półprzewodnikowej, który ma kluczowy wpływ na wydajność i niezawodność ostatecznego urządzenia.

Oprócz jego zastosowania w przetwarzaniu półprzewodnikowym chlorek wodoru elektroniczny może znaleźć różne zastosowania w innych obszarach, w tym: przygotowanie materiałów o wysokiej czystości, ogniw paliwowych, wzrostu materiału półprzewodnika, litografii fazy pary, analizy materiałów, badań chemicznych.

Ogólnie klasa elektronicznaChlorek wodorujest wszechstronnym gazem o wysokiej czystości, który ma szeroki zakres zastosowań poza produkcją półprzewodników.