Trójchlorek boru (BCl3)Jest związkiem nieorganicznym powszechnie stosowanym w procesach suchego trawienia i chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) w produkcji półprzewodników. Jest bezbarwnym gazem o silnym, ostrym zapachu w temperaturze pokojowej i jest wrażliwy na wilgotne powietrze, ponieważ hydrolizuje, wytwarzając kwas solny i kwas borowy.

Zastosowania trójchlorku boru

W przemyśle półprzewodnikowym,Trójchlorek boruJest stosowany głównie do suchego trawienia aluminium oraz jako domieszka do formowania obszarów typu P na płytkach krzemowych. Może być również stosowany do trawienia materiałów takich jak GaAs, Si, AlN oraz jako źródło boru w określonych zastosowaniach. Ponadto, trójchlorek boru jest szeroko stosowany w obróbce metali, przemyśle szklarskim, analizie chemicznej i badaniach laboratoryjnych.

Bezpieczeństwo trójchlorku boru

Trójchlorek boruJest żrący i toksyczny i może powodować poważne uszkodzenia oczu i skóry. Hydrolizuje w wilgotnym powietrzu, uwalniając toksyczny gaz chlorowodoru. Dlatego należy zachować odpowiednie środki ostrożności podczas obchodzenia się z nim.Trójchlorek boruw tym noszenie odzieży ochronnej, okularów ochronnych i sprzętu ochrony dróg oddechowych oraz praca w dobrze wentylowanym środowisku.