Trichlor boru (BCL3)jest związkiem nieorganicznym powszechnie stosowanym w procesach trawienia suchego i chemicznego odkładania pary (CVD) w produkcji półprzewodników. Jest to bezbarwny gaz z silnym ostrym zapachem w temperaturze pokojowej i jest wrażliwy na wilgotne powietrze, ponieważ hydrolizuje się do wytwarzania kwasu solnego i kwasu borowego.

Zastosowania trichlorku boru

W branży półprzewodników,Trichonek borujest stosowany głównie do suchego trawienia aluminium i jako domieszki tworzących regiony typu p na płytach krzemowych. Można go również stosować do trawienia, takich jak GAAS, SI, ALN i jako źródło boru w niektórych określonych zastosowaniach. Ponadto trichlorek boru jest szeroko stosowany w przetwarzaniu metali, przemysłu szklanym, analizie chemicznej i badaniach laboratoryjnych.

Bezpieczeństwo trichlorku boru

Trichonek borujest żrący i toksyczny i może powodować poważne uszkodzenie oczu i skóry. Hydrolizuje wilgotne powietrze w celu uwolnienia toksycznego gazu chlorku wodoru. Dlatego podczas obsługi należy podjąć odpowiednie środki bezpieczeństwaTrichonek boru, w tym noszenie odzieży ochronnej, gogli i sprzętu ochrony oddechowej oraz działanie w dobrze wentylowanym środowisku.